無塵室是指在一定空間范圍內(nèi)排除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲、振動和照明、靜電控制在一定要求范圍內(nèi)，并給予特殊設計的房間。也就是說，無論外部空氣條件如何變化，室內(nèi)都能保持原設定要求的清潔度、溫度、濕度和壓力。潔凈室的主要功能是控制產(chǎn)品（如硅芯片等）接觸到的大氣的清潔度、溫度和濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造，我們稱之為潔凈室。