無塵室標(biāo)準(zhǔn)分類

亂流式(TurbulentFlow)：

空氣通過空調(diào)箱通過風(fēng)管和無塵車間的空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室，由無塵車間兩側(cè)的隔墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線運(yùn)動(dòng)處于不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。這種類型適用于1000-100000級(jí)的無塵室。

優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)施工成本低，易于擴(kuò)展無塵室。在一些特殊場(chǎng)所，無塵工作臺(tái)可以用來提高無塵車間的等級(jí)。

缺點(diǎn)：室內(nèi)空間的粉塵顆粒漂浮在室內(nèi)空間，不易排出，容易污染產(chǎn)品。另外，如果系統(tǒng)停止運(yùn)行并再次激活，需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔度。

層流式(Laminar)：

層流式空氣流向均勻直線移動(dòng)，空氣從覆蓋率的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。這種類型適用于對(duì)無塵室等級(jí)要求較高的環(huán)境，一般其無塵室等級(jí)為Class1~100。

可分為兩種類型：

?無塵車間水平層流式:水平空氣從過濾器單向吹出，從對(duì)面墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)吹出?；覊m隨風(fēng)排出室外，下流側(cè)污染嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行后短時(shí)間內(nèi)可變穩(wěn)定。

缺點(diǎn)：施工成本高于亂流式，室內(nèi)空間不易擴(kuò)大。

?無塵車間垂直層流：房間天花板完全使用ULPA過濾器覆蓋，空氣從上到下吹，可獲得較高的清潔度，生產(chǎn)或工作人員產(chǎn)生的灰塵可迅速排出室外，不影響其他工作區(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理方便，運(yùn)行開始時(shí)可在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，不易受運(yùn)行狀態(tài)或操作人員的影響。

缺點(diǎn)：結(jié)構(gòu)成本高，彈性使用空間困難，天花板吊架占用空間大，維修更換過濾器比較麻煩。

復(fù)合式(MixedType)：

復(fù)合式是將亂流式和層流式復(fù)合使用，可提供局部超潔凈空氣。

無塵車間清潔隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器覆蓋生產(chǎn)區(qū)或工作區(qū)，將潔凈度等級(jí)提高到10級(jí)以上，可以節(jié)省安裝和運(yùn)行成本。這種類型需要將操作人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器的維護(hù)隔離，以免影響機(jī)器的工作和質(zhì)量。這種類型主要用于大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)。

清潔隧道的另外兩個(gè)優(yōu)點(diǎn)：彈性擴(kuò)展方便，維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕松執(zhí)行。

無塵車間清潔管道(CleanTube)：包圍和凈化產(chǎn)品過程中的自動(dòng)生產(chǎn)線，將清潔度等級(jí)提高到100級(jí)以上。由于產(chǎn)品與操作人員和粉塵環(huán)境隔離，少量送風(fēng)可獲得良好的清潔度，節(jié)約能源，無需人工自動(dòng)化生產(chǎn)線。適用于藥品、食品和半導(dǎo)體。

無塵車間和局部無塵室(CleanSpot)：將亂流無塵室內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的潔凈度等級(jí)提高到10~1000級(jí)以上，用于生產(chǎn)。

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無塵室的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)

如果要檢查無塵室是否符合應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，可以先考慮遮蔽率、風(fēng)速、溫濕度、壓差、構(gòu)成要求：

遮蔽率

無塵等級(jí)

AirChange（次/hr）

HEPA遮蔽率

Class100

240-480

50%-

Class1000

17-240

10%-35%

Class10000

10

8%-10%

AirChange：FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/無塵室體積

HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數(shù)量/無塵室面積

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風(fēng)速、溫濕度

氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）

一般溫度控制范圍：T=（21±2）℃

一般濕度控制范圍：（455±5）%RH

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壓差

兩個(gè)無塵室之間的合理設(shè)計(jì)壓差應(yīng)為10Pa，無塵室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持15Pa壓差。當(dāng)這些壓差有實(shí)際困難時(shí)，保持5Pa小壓差是可以接受的。

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構(gòu)成要求

A.不會(huì)因溫度變化和振動(dòng)而產(chǎn)生裂紋

B.不易產(chǎn)生粉塵顆粒，難以附著顆粒

C.吸濕性小

D.為了持室內(nèi)濕度條件，熱絕緣性較高